1、 *小(xiǎo)切削厚度对表面粗糙度的影响
    除了机床本身的性能(néng)以外，使用(yòng)刀(dāo)具切削刃有(yǒu)效地切除工件材料时，*小(xiǎo)切削厚度的可(kě)控性和重复性是影响加工精度的主要因素。MTC 不仅可(kě)以反映切削刃的纳米级微观结构，还可(kě)以反映出刀(dāo)具和工件材料之间的相互作用(yòng)状态。
    2、振动对表面粗糙度的影响
    尽管超精密車(chē)床具有(yǒu)很(hěn)高的刚度，但振动仍然是影响表面粗糙度的主要因素之一。超精密机床通常都有(yǒu)很(hěn)高的固有(yǒu)频率，在超精密加工过程中，实际的工艺系统是一个非常复杂的振动系统，系统中的振动使工件与刀(dāo)具之间的相对位置发生了微幅变动，*终使工件表面粗糙度增大、表面质量降低。
    3 、金属变形对表面粗糙度的影响
    金属切削加工过程非常复杂，加工后形成的表面粗糙度/表面粗糙度仪与工件的材料、刀(dāo)具的几何形状、润滑方法以及选用(yòng)的切削深度密切相关。剪切、滑移和断裂被认為(wèi)是影响切屑形成的几个主要因素。
    4、刀(dāo)具几何形状对表面粗糙度的影响
    在切削过程中，刀(dāo)具几何参数的不同组合形成不同的切削形态。直接影响切削过程的稳定性和表面质量。理(lǐ)想状态下，采用(yòng)圆弧刃金刚石刀(dāo)具进行超精密車(chē)削加工软金属时，在工件加工表面形成轮廓峰和轮廓谷，它们之间的距离，被称為(wèi)理(lǐ)论粗糙度，其大小(xiǎo)等于f2/8R。